Correlation between plasma particle fluxes, microstructure and properties of titanium diboride thin films

Ye, J.; Ulrich, S.; Sell, K.; Leiste, H.; Stüber, M.; Holleck, H.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2003
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240053213
HGF-Programm	42.02.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	8th Internat.Conf.on Plasma Surface Engineering, Garmisch-Partenkirchen, September 9-13, 2002 Book of Abstracts S.415 Surface and Coatings Technology, 174-175(2003) S.959-63 DOI:10.1016/S0257-8972(03)00455-9