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The constitution and properties of cubic boron nitride thin films: a comparative study on the influence of bombarding ion energy

Sell, K.; Ulrich, S.; Nold, E.; Ye, J.; Leiste, H.; Stüber, M.; Holleck, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240053216
HGF-Programm 42.02.02; LK 01
Erscheinungsvermerk 8th Internat.Conf.on Plasma Surface Engineering, Garmisch-Partenkirchen, September 9-13, 2002 Book of Abstracts S.138 Surface and Coatings Technology, 174-175(2003) S.1121-25 DOI:10.1016/S0257-8972(03)00533-4
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