The constitution and properties of cubic boron nitride thin films: a comparative study on the influence of bombarding ion energy

Sell, K.; Ulrich, S.; Nold, E.; Ye, J.; Leiste, H.; Stüber, M.; Holleck, H.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2003
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240053216
HGF-Programm	42.02.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	8th Internat.Conf.on Plasma Surface Engineering, Garmisch-Partenkirchen, September 9-13, 2002 Book of Abstracts S.138 Surface and Coatings Technology, 174-175(2003) S.1121-25 DOI:10.1016/S0257-8972(03)00533-4