Manufacturing of isolated ceramic microstructures

; Piotter, V.; Ruprecht, R.; Hausselt, J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2003
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240053841
HGF-Programm	41.05.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	4th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2001), Baden-Baden, June 17-19, 2001 Microsystem Technologies, 9(2002)