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Manufacturing of isolated ceramic microstructures

Gietzelt, T. ORCID iD icon; Piotter, V.; Ruprecht, R.; Hausselt, J.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240053841
HGF-Programm 41.05.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 4th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2001), Baden-Baden, June 17-19, 2001 Microsystem Technologies, 9(2002)
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