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Large-scale molecular dynamics simulations of highly accelerated cluster impact on diamond surface

Yamaguchi, Y.; Gspann, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240053859
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Erscheinungsvermerk 4th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology (HARMST 2001), Baden-Baden, June 17-19, 2001 Microsystem Technologies, 9(2002) DOI: 10.1007/s00542-002-0211-9
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