Cut it out. Shaping the micrometer
Schaller, T.; Pfleging, W.
; Hlavac, M.
; Hlavac, M.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Mikrotechnologie (MIKRO) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240054412 |
| HGF-Programm | 41.98.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Machines and Processes for Micro-Scale and Meso-Scale Fabrication, Metrology and Assembly : Proc.of 2003 ASPE Winter Topical Meeting, Gainesville, Fla., January 22-23, 2003 Raleigh, N.C. : ASPE, 2003 |