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MODULIGA: The LIGA process as a modular production method. Current standardisation state of the LIGA process in Germany

Meyer, P.; Hahn, L.; Bade, K.; Hein, H.; Schulz, J.; Löchel, B.; Scheunemann, H.U.; Schondelmaier, D.; Singleton, L.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240054866
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Standardisation for Microsystems : The Way Forward ; Internat.Seminar MEMSTAND, Barcelona, E, February 25, 2003 5th Biennial High Aspect Ratio Micro-Structure Technology Workshop (HARMST 2003), Monterey, Calif., June 15-17, 2003
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