MODULIGA: The LIGA process as a modular production method. Current standardisation state of the LIGA process in Germany
Meyer, P.
; Hahn, L.; Bade, K.
; Hein, H.; Schulz, J.
; Löchel, B.; Scheunemann, H. U.; Schondelmaier, D.; Singleton, L.
; Hahn, L.; Bade, K.
; Hein, H.; Schulz, J.
; Löchel, B.; Scheunemann, H. U.; Schondelmaier, D.; Singleton, L.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240054866 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Standardisation for Microsystems : The Way Forward ; Internat.Seminar MEMSTAND, Barcelona, E, February 25, 2003 5th Biennial High Aspect Ratio Micro-Structure Technology Workshop (HARMST 2003), Monterey, Calif., June 15-17, 2003 |