Incorporating design rules into the LIGA technology applied to a Fourier transformation spectrometer

Solf, C.; Janssen, A.; Mohr, J.; Ruzzu, A.; Wallrabe, U.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2003
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240054873
HGF-Programm	41.08.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	5th Biennial High Aspect Ratio Micro-Structure Technology Workshop (HARMST 2003), Monterey, Calif., June 15-17, 2003