Replication of LIGA structures using microcasting
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240054874 |
| HGF-Programm | 41.03.01 (POF I, LK 01) Auslegungsgrundl.f.Mikrostrukturapp. |
| Erscheinungsvermerk | 5th Biennial High Aspect Ratio Micro-Structure Technology Workshop (HARMST 2003), Monterey, Calif., June 15-17, 2003 Microsystem Technologies, 10(2004) DOI:10.1007/s00542-004-0377-4 |