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Fabrication and preliminary testing of X-ray lenses in thick SU-8 resist layers

Nazmov, V.; Reznikova, E.; Snigirev, A.; Snigireva, I.; Mohr, J.; Achenbach, S.; Saile, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240054887
HGF-Programm 51.04.04; LK 02
Erscheinungsvermerk 5th Biennial High Aspect Ratio Micro-Structure Technology Workshop (HARMST 2003), Monterey, Calif., June 15-17, 2003
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