Fabrication and preliminary testing of X-ray lenses in thick SU-8 resist layers

Nazmov, V.; Reznikova, E.; Snigirev, A.; Snigireva, I.; Mohr, J.; Achenbach, S.; Saile, V.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2003
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240054887
HGF-Programm	51.04.04 (Vor POF, LK 02)
Erscheinungsvermerk	5th Biennial High Aspect Ratio Micro-Structure Technology Workshop (HARMST 2003), Monterey, Calif., June 15-17, 2003