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Deep sub micron high aspect ratio polymer structures produced by hard X-ray lithography

Achenbach, S.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240054888
HGF-Programm 51.04.04 (POF I, LK 02)
Erscheinungsvermerk 5th Biennial High Aspect Ratio Micro-Structure Technology Workshop (HARMST 2003), Monterey, Calif., June 15-17, 2003 Microsystems Technologies, 10(2004) DOI: 10.1007/s00542-004-0379-2
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