Deep sub micron high aspect ratio polymer structures produced by hard X-ray lithography
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240054888 |
| HGF-Programm | 51.04.04 (POF I, LK 02) NEUART.KOMPON.U.SYST.F.SYNCHROTRONSTR. |
| Erscheinungsvermerk | 5th Biennial High Aspect Ratio Micro-Structure Technology Workshop (HARMST 2003), Monterey, Calif., June 15-17, 2003 Microsystems Technologies, 10(2004) DOI: 10.1007/s00542-004-0379-2 |