Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2004 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 240054950 |
HGF-Programm | 41.08.01 (POF I, LK 01) Telekommunikation |
Erscheinungsvermerk | Transducers '03 : The 12th Internat.Conf.on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Boston, Mass., June 8-12, 2003 Digest of Technical Papers Vol.2 S.1011-14 New York, N.Y. : IEEE, 2003 Sensors and Actuators A, 114(2004) S.445-50 DOI:10.1016/j.sna.2003.11.006 |