Evaluation of optical qualities of a LIGA-spectrometer in SU-8

Mappes, T.; Achenbach, S.; Last, A.; Mohr, J.; Truckenmüller, R.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2004
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240054976
HGF-Programm	51.04.04 (POF I, LK 02) NEUART.KOMPON.U.SYST.F.SYNCHROTRONSTR.
Erscheinungsvermerk	5th Biennial High Aspect Ratio Micro-Structure Technology Workshop (HARMST 2003), Monterey, Calif., June 15-17, 2003 Microsystem Technologies, 10(2004) DOI:10.1007/s00542-004-0403-6