Evaluation of optical qualities of a LIGA-spectrometer in SU-8
Mappes, T.; Achenbach, S.; Last, A.
; Mohr, J.; Truckenmüller, R.
; Mohr, J.; Truckenmüller, R.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240054976 |
| HGF-Programm | 51.04.04 (POF I, LK 02) NEUART.KOMPON.U.SYST.F.SYNCHROTRONSTR. |
| Erscheinungsvermerk | 5th Biennial High Aspect Ratio Micro-Structure Technology Workshop (HARMST 2003), Monterey, Calif., June 15-17, 2003 Microsystem Technologies, 10(2004) DOI:10.1007/s00542-004-0403-6 |