Dosing system for the nanolitre range, fabricated with the AMANDA process
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240055164 |
| HGF-Programm | 41.09.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Papers from the 13th Micromechanics Europe Workshop (MME'02), Sinaia, R, October 6-8, 2002 Journal of Micromechanics and Microengineering, 13(2003) DOI:10.1088/0960-1317/13/4/314 |