Magnetically driven micro ball valves fabricated by multilayer adhesive film bonding
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240055165 |
| HGF-Programm | 41.06.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Papers from the 13th Micromechanics Europe Workshop (MME'02), Sinaia, R, October 6-8, 2002 Journal of Micromechanics and Microengineering, 13(2003) |