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Magnetically driven micro ball valves fabricated by multilayer adhesive film bonding

Fu, C.; Rummler, Z.; Schomburg, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240055165
HGF-Programm 41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Papers from the 13th Micromechanics Europe Workshop (MME'02), Sinaia, R, October 6-8, 2002 Journal of Micromechanics and Microengineering, 13(2003)
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