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A TiNiPd thin film microvalve for high temperature applications

Liu, Y.; Kohl, M.; Okutsu, K.; Miyazaki, S.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240055469
HGF-Programm 41.01.05 (POF I, LK 01)
Erscheinungsvermerk European Symp.on Martensitic Transformations and Shape-Memory (ESOMAT 2003), Cirencester, GB, August 17-22, 2003 Materials Science and Engineering A, 378(2004) DOI:10.1016/j.msea.2003.10.369
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