Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2003 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 240055646 |
HGF-Programm | 41.06.01 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | Reichl, H. [Hrsg.] MICRO SYSTEM Technologies 2003 : Internat.Conf.and Exhibition on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, München, October 7-8, 2003 Poing : Franzis Verl., 2003 Incl.CD-ROM |