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Lateral inhomogeneity of gas permeable Al₂O₃ or SiO₂ coatings as a tunig tool for the gas analytical performance of gradient microarrays

Goschnick, J.; Frietsch, M.; Kiselev, I.; Kusnadi, H.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240055702
HGF-Programm 41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk MICRO.tec 2003 : Applications - Trends - Visions ; Proc.of the 2nd VDE World Microtechnologies Congress, München, October 13-15, 2003 Berlin [u.a.] : VDE Verl.GmbH, 2003 Incl.CD-ROM
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