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Manufacturing line for the distributed fabrication of modular microoptical systems

Wallrabe, U.; Hollenbach, U.; Mohr, J.; Oka, T.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240055741
HGF-Programm 41.08.01; LK 01
Erscheinungsvermerk MICRO.tec 2003 : Applications - Trends - Visions ; Proc.of the 2nd VDE World Microtechnologies Congress, München, October 13-15, 2003 Berlin [u.a.] : VDE Verl.GmbH, 2003 Incl.CD-ROM
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