Ensuring reliability and repeatability in deep x-ray LIGA process - state of standardization
Meyer, P.; Schulz, J.
; Bade, K.
; Janssen, A.; Thelen, R.; Hahn, L.; Lange, J.; Arendt, M.
; Bade, K.
; Janssen, A.; Thelen, R.; Hahn, L.; Lange, J.; Arendt, M.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240055915 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | MICRO.tec 2003 : Applications - Trends - Visions ; Proc.of the 2nd VDE World Microtechnologies Congress, München, October 13-15, 2003 Berlin [u.a.] : VDE Verl.GmbH, 2003 Incl.CD-ROM |