| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für wissenschaftliches Rechnen (IWR) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240056121 |
| HGF-Programm | 46.00.00 (POF I, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 50th Internat.Symp.of the American Vacuum Society (AVS), Baltimore, Md., November 3-7, 2003 Journal of Vacuum Science and Technology A, 22(2004) --38 DOI:10.1116/1.1690259 |