Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für wissenschaftliches Rechnen (IWR) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2004 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 240056121 |
HGF-Programm | 46.00.00 (POF I, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | 50th Internat.Symp.of the American Vacuum Society (AVS), Baltimore, Md., November 3-7, 2003 Journal of Vacuum Science and Technology A, 22(2004) --38 DOI:10.1116/1.1690259 |