Die Synchrotronstrahlungsquelle ANKA für Mikrofertigung und Analytik

Hagelstein, M.; Buth, G.; Gies, A.; Huttel, E.; Mexner, W.; Pont, M.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Synchrotronstrahlung (ISS)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2004
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 240056902
HGF-Programm	55.02.01 (POF I, LK 01)
Erscheinungsvermerk	5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6990 (Januar 2004) (Poster)