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Programm Mikrosystemtechnik. Status und Visionen

Bley, P.; Fabricius, N.



Zugehörige Institution(en) am KIT Mikrotechnologie (MIKRO)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2004
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 240056991
HGF-Programm 41; LK 01
Erscheinungsvermerk 5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6990 (Januar 2004)
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