Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2004 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 240056995 |
HGF-Programm | 41.02.02 (POF I, LK 01) Dünnschichten |
Erscheinungsvermerk | 5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6990 (Januar 2004) |