Zuverlässigkeitsbewertung thermomechanisch belasteter Mikrobauteile

Büttner, J.; Huber, N.; Bruns, M.; Kraft, O.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA) Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2004
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 240057012
HGF-Programm	42.03.01 (POF I, LK 01) Nanostrukt.u.nanofunktional.Oberflächen
Erscheinungsvermerk	5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6990 (Januar 2004)