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Entwurf und Simulation mikrooptischer Freistrahlsysteme

Sieber, I. ORCID iD icon; Hollenbach, U.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2004
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 240057013
HGF-Programm 41.08.02 (POF I, LK 01) Prozessanalytik
Erscheinungsvermerk 5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6990 (Januar 2004)
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