Keramische Mikrostrukturen durch Röntgentiefenlithographie
Schulz, M.
; Börner, M.; Göttert, J.; Hanemann, T.; Heldele, R.; Motz, G.; Hausselt, J.
; Börner, M.; Göttert, J.; Hanemann, T.; Heldele, R.; Motz, G.; Hausselt, J.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240057016 |
| HGF-Programm | 41.03.01 (POF I, LK 01) Auslegungsgrundl.f.Mikrostrukturapp. |
| Erscheinungsvermerk | 5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6990 (Januar 2004) (Poster) |