Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2004 |
Sprache | Deutsch |
Identifikator | KITopen-ID: 240057033 |
HGF-Programm | 41.07.02 (POF I, LK 01) Metallische Mikrostrukturapparate |
Erscheinungsvermerk | 5.Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, Karlsruhe, 10.-11.Februar 2004 Wissenschaftliche Berichte, FZKA-6990 (Januar 2004) (Poster) |