A new bonding process for polymer micro- and nanostructures based on near-surface degradation
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240057052 |
| HGF-Programm | 41.09.02 (POF I, LK 01) Proteinanalytik im Chipformat |
| Erscheinungsvermerk | The 17th IEEE Internat.Conf.on Micro Electro Mechanical Systems, Maastricht, NL, January 25-29, 2004 Technical Digest New York, N.Y. : IEEE, 2004 |