| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240058212 |
| HGF-Programm | 41.01.04 (POF I, LK 01) Metallabscheidung |
| Erscheinungsvermerk | Reichl, H. [Hrsg.] MICRO SYSTEM Technologies 2003 : Internat.Conf.and Exhibition on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, München, October 7-8, 2003 Poing : Franzis Verl., 2003 Incl.CD-ROM |