Structure quality of high aspect ratio sub micron polymer structures patterned at the electron storage ring ANKA
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240058427 |
| HGF-Programm | 55.01.01 (POF I, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 48th Internat.Conf.on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN 2004), San Diego, Calif., June 1-4, 2004 |