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Structure quality of high aspect ratio sub micron polymer structures patterned at the electron storage ring ANKA

Achenbach, S.; Mappes, T.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240058427
HGF-Programm 55.01.01; LK 01
Erscheinungsvermerk 48th Internat.Conf.on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication (EIPBN 2004), San Diego, Calif., June 1-4, 2004
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