Large-scale hot embossing
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240058428 |
| HGF-Programm | 41.01.03 (POF I, LK 01) Kunststoffabformung |
| Erscheinungsvermerk | Symp.on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP 2004), Montreux, CH, May 12-14, 2004 |