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The German initiative to commercialize the LIGA technology. A LIGA fabrication line at ANKA

Meyer, P.; Janssen, A.; Maas, D.; Saile, V.; Schulz, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240058859
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Proc.of the 9th Internat.Conf.on the Commerzialization of Micro and Nano Systems (COMS 2004), Edmonton, CDN, August 29 - September 2, 2004 Albuquerque, N.M.: MANCEF, 2004
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