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Photonic integrated circuits by DUV-induced modification of polymers for telecom and sensor applications

Rabus, D.; Henzi, P.; Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240058861
HGF-Programm 41.04.01; LK 01
Erscheinungsvermerk 10th Microoptics Conf.(MOC'04), Jena, September 1-3, 2004
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