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Tailored stoichiometries of silicon carbonitride thin films prepared by combined RF magnetron sputtering and ion beam synthesis

Bruns, M.; Geckle, U.; Trouillet, V.; Rudolphi, M.; Baumann, H.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240059129
HGF-Programm 41.05.01 (POF I, LK 01) MOX-Sensoren
Erscheinungsvermerk 51th Symp.of the American Vacuum Society, Anaheim, Calif., November 14-19, 2004
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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