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Tailored stoichiometries of silicon carbonitride thin films prepared by combined RF magnetron sputtering and ion beam synthesis

Bruns, M.; Geckle, U.; Trouillet, V.; Rudolphi, M.; Baumann, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240059129
HGF-Programm 41.05.01; LK 01
Erscheinungsvermerk 51th Symp.of the American Vacuum Society, Anaheim, Calif., November 14-19, 2004
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