Tailored stoichiometries of silicon carbonitride thin films prepared by combined RF magnetron sputtering and ion beam synthesis

Bruns, M.; Geckle, U.; Trouillet, V.; Rudolphi, M.; Baumann, H.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2004
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240059129
HGF-Programm	41.05.01 (POF I, LK 01) MOX-Sensoren
Erscheinungsvermerk	51th Symp.of the American Vacuum Society, Anaheim, Calif., November 14-19, 2004