Reliability issues in MEMS related to cyclic loading conditions
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240059365 |
| HGF-Programm | 41.03.02 (POF I, LK 01) Mikrostrukturapparate |
| Erscheinungsvermerk | Proc.of the ASME Internat.Mechanical Engineering Congress (IMECE 2004), Anaheim, Calif., November 14-19, 2004 CD-ROM IMECE2004-61637 New York, N.Y. : ASME, 2004 |