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Reliability issues in MEMS related to cyclic loading conditions

Kraft, O.; Volkert, C.A.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240059365
HGF-Programm 41.03.02; LK 01
Erscheinungsvermerk Proc.of the ASME Internat.Mechanical Engineering Congress (IMECE 2004), Anaheim, Calif., November 14-19, 2004 CD-ROM IMECE2004-61637 New York, N.Y. : ASME, 2004
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