Preliminary results of fracture mechanics analysis on the quality of LIGA sidewalls
Guimaraes, M. S.; Meyer, P.; Hahn, L.; Schulz, J.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2004 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240059793 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE |
| Erscheinungsvermerk | 5th Internat.Workshop on High Aspect Ratio Micro Structure Technology (HARMST 2003), Monterey, Calif., June 15-17, 2003 |