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Preliminary results of fracture mechanics analysis on the quality of LIGA sidewalls

Guimaraes, M.S.; Meyer, P.; Hahn, L.; Schulz, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2004
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240059793
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Erscheinungsvermerk 5th Internat.Workshop on High Aspect Ratio Micro Structure Technology (HARMST 2003), Monterey, Calif., June 15-17, 2003
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