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Structuring ceramics using lithography

Schulz, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240060274
HGF-Programm 41.02.01 (POF I, LK 01)
Erscheinungsvermerk 29th Internat.Cocoa Beach Conf.on Advanced Ceramics and Composites, Cocoa Beach, Fla., January 23-28, 2005
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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