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MD study on high-energy reactive carbon and oxygen cluster impact leading to surface erosion on diamond

Yamaguchi, Y.; Gspann, J.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240060499
HGF-Programm 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE
Erscheinungsvermerk 7th Internat.Conf.on Computer Simulation of Radiation Effects in Solids, Helsinki, SF, June 28 - July 2, 2004
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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