MD study on high-energy reactive carbon and oxygen cluster impact leading to surface erosion on diamond
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240060499 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE |
| Erscheinungsvermerk | 7th Internat.Conf.on Computer Simulation of Radiation Effects in Solids, Helsinki, SF, June 28 - July 2, 2004 |