Fabrication of ceramic microcomponents using deep X-ray lithography
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240061128 |
| HGF-Programm | 41.02.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 5th Internat.Workshop on High Aspect Ratio Micro Structure Technology (HARMST), Monterey, Calif., June 15-17, 2003 |