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Fabrication of ceramic microcomponents using deep X-ray lithography

Müller, C.; Hanemann, T.; Wiche, G.; Kumar, C.; Goettert, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2003
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240061128
HGF-Programm 41.02.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 5th Internat.Workshop on High Aspect Ratio Micro Structure Technology (HARMST), Monterey, Calif., June 15-17, 2003
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