Fabrication of diamond micro tools for ultra precision machining

Ritzhaupt-Kleissl, E.; Müller, C.; Sossalla, A.; Ertl, S.; Gluche, P.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Materialforschung - Werkstoffprozesstechnik (IMF3) (IMF3)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2003
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240061134
HGF-Programm	41.02.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	5th Internat.Workshop on High Aspect Ratio Micro Structure Technology (HARMST), Monterey, CA, June 15-17, 2003