| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240061166 |
| HGF-Programm | 41.01.05 (POF I, LK 01) Membrantechnologie |
| Erscheinungsvermerk | Courtois, B. [Hrsg.] DTIP 2005 : Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS ; Proc.of the Symp., Montreux, CH, June 1-3, 2005 Grenoble : TIMA Labs., 2005 |