Nitrogen self-diffusion in polycrystalline Si₃N₄ films: Isotope heterostructures vs. gas-exchange

Schmidt, H.; Borchardt, G.; Rudolphi, M.; Baumann, H.; Bruns, M.; Weber, S.; Scherrer, H.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2005
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240061669
HGF-Programm	41.05.01 (POF I, LK 01) MOX-Sensoren
Erscheinungsvermerk	6th Internat.Conf.on Diffusion in Materials, Krakow, PL, July 18-23, 2004