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Nitrogen self-diffusion in polycrystalline Si₃N₄ films: Isotope heterostructures vs. gas-exchange

Schmidt, H.; Borchardt, G.; Rudolphi, M.; Baumann, H.; Bruns, M.; Weber, S.; Scherrer, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240061669
HGF-Programm 41.05.01; LK 01
Erscheinungsvermerk 6th Internat.Conf.on Diffusion in Materials, Krakow, PL, July 18-23, 2004
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