Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2005 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 240061885 |
HGF-Programm | 41.01.03 (POF I, LK 01) Kunststoffabformung |
Erscheinungsvermerk | Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP 2005), Symp., Montreux, CH, June 1-3, 2005 |