| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240061885 |
| HGF-Programm | 41.01.03 (POF I, LK 01) Kunststoffabformung |
| Erscheinungsvermerk | Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP 2005), Symp., Montreux, CH, June 1-3, 2005 |