An ultrasonic welding based process for building up single-material, inert fluidic microsensors and -actuators from polymers

Truckenmüller, R.; Ahrens, R.; Cheng, Y.; Fischer, G.; Lehmann, J.; Wolff, K.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2005
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 240061939
HGF-Programm	41.01.05 (POF I, LK 01) Membrantechnologie
Erscheinungsvermerk	Eurosensors XIX, Barcelona, E, September 11-14, 2005 Proc. Vol.1 MB14 Barcelona : Universitat de Barcelona, 2005