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Standards for hybrid microsystems production equipment

Gengenbach, U.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 240062075
HGF-Programm 41.01.07 (POF I, LK 01) Mikrohandhabung + AVT
Erscheinungsvermerk Commercialization of Micro and Nano Systems (COMS 2005) : 10th Internat.Conf., Baden-Baden, August 21-25, 2005 Albuquerque, N.M. : MANCEF, 2005 Auch auf CD-ROM
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