Mikrosysteme aus Polymeren und Metallen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2005 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 240062362 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE |
| Erscheinungsvermerk | Internat.Conf.of Mechatronics, Karlsruhe, September 26-28, 2005 Proc.on CD-ROM |