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Mikrosysteme aus Polymeren und Metallen

Saile, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2005
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 240062362
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Internat.Conf.of Mechatronics, Karlsruhe, September 26-28, 2005 Proc.on CD-ROM
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