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LIGA - von der Technologieentwicklung zur Fertigungsorganisation

Schulz, J.; Meyer, P.; Saile, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2005
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 240062365
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Mikrosystemtechnik Kongress 2005, Freiburg, 10.-12.Oktober 2005 Berlin [u.a.] : VDE Verl., 2005 Inkl.CD-ROM
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