Neuartiges Konzept der ultraschallunterstützten Reinigung von mikrostrukturierten Abformwerkzeugen

; Winkler, F.; Laier, R.; Schulz, J.

; Nold, E.; Hielscher, G.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2005
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 240062369
HGF-Programm	41.01.01 (POF I, LK 01) LITHOGRAPHIE
Erscheinungsvermerk	Mikrosystemtechnik Kongress, Freiburg, 10.-12.Oktober 2005 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 2005 inkl.CD-ROM