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Vereinfachtes Handling von Substraten in der Mikrogalvanoformung und der Ätztechnik

Guttmann, M.; Bade, K.; Matthis, B.; Moritz, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2005
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 240062370
HGF-Programm 41.01.04; LK 01
Erscheinungsvermerk Mikrosystemtechnik Kongress, Freiburg, 10.-12.Oktober 2005 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 2005 inkl.CD-ROM
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