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Investigations of structure and mechanical properties of r.f. magnetron sputtered monolayer and multilayer coatings in the ternary system Si-B-C

Lattemann, M.; Ulrich, S.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung - Angewandte Werkstoffphysik (IMF1) (IMF1)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2005
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 240062592
HGF-Programm 42.02.02; LK 01
Erscheinungsvermerk 5th Asian-European Internat.Conf.on Plasma Surface Engineering (AEPSE'2005), Qingdao, China, September 12-16, 2005
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